參考價格
20-30萬元型號
FT-3110品牌
ROOKO產地
浙江寧波樣本
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功能介紹Function Introduction
四點探針法、全自動化運行測量系統
PC軟件采集和數據處理、ASTM方法
自動正/負電流輸出，自動正/負電壓測量
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調探針壓力、測試點數、多種模式
顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值
提供標準校準電阻件、數據統計分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量；選擇性發射極擴散片；
表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等；
規格型號 | FT-3110A | FT-3110B（可擴展） |
1.方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
2.電阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
3.測試電流 | 0.1μA;1μA;10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
4.電阻精度 | ≤0.3%（標準電阻） | |
5.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等 | |
6.壓力范圍 | 探針壓力可調范圍：100-500g | |
7.探針 | 鎢鋼材質，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規格可定制 | |
8.載臺類型及尺寸選購 | 選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內定制規格 | |
9.分析模式 | 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 | |
10.重復性 | 單點重復性：重復性≤0.5% | |
11.防護功能 | 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 | |
12.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W | |
半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
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