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碳化硅作為第三代半導體材料,可用于制作新一代高效節能的電力電子器件,并廣泛應用于國民經濟的各個領域,如空調、光伏發電、風力發電、高效電動機、混合和純電動汽車、高速列車等。
碳化硅晶體生長爐是生產碳化硅晶體不可缺少的關鍵設備。該設備采用感應加熱方式,在工藝氣體環境下將石墨坩堝中的碳化硅粉末升華,沉積到碳化硅籽晶上,即利用物理氣相傳輸法(PVT 法)生長6英寸碳化硅晶體。
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