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特點:高速高效磨削、使用壽命長、材料去除效率高、加工工件表面損傷層低、光潔度高。
應用:主要用于多晶硅的磨方、倒角、磨面,單晶硅的磨面、滾圓。
主要用于多晶硅的磨方、倒角、磨面,單晶硅的磨面、滾圓。可實現高速高效磨削,使用壽命長,材料去除效率高; 加工工件表面損傷層低、光潔度高。
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