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陰極熒光成像系統(tǒng)——Sunny品牌
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陰極熒光(CL)系統(tǒng)作為電鏡的功能部件,其強(qiáng)大之處就在于它能夠?qū)晒庑畔⑴c電子顯微鏡**的空間分辨率相結(jié)合,進(jìn)而可以被用來(lái)探索在微米/納米的尺度下物質(zhì)的許多基本性質(zhì)。目前,陰極熒光系統(tǒng)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于地質(zhì)、材料、半導(dǎo)體、微電子、物理、考古、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。
Sunny系列陰極熒光成像系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)微、納米尺度的陰極熒光成像,具有大面積均勻探測(cè)范圍和高探測(cè)靈敏度等優(yōu)勢(shì),尤其適合地質(zhì)類樣品、光電材料與器件開展高效率陰極熒光強(qiáng)度表征與分析。
技術(shù)參數(shù)
(1)熒光收集方式:直接探測(cè);
(2)探測(cè)波段范圍:200-900 nm;
(3)**成像范圍:直徑2.5 mm;
(4)接口類型:電鏡樣品室的平插接口;
(5)可與主流掃描電鏡耦合,實(shí)現(xiàn)陰極熒光全譜成像、去磷光成像。
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