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采用新型微波反應腔，有效沉積面積大而均勻；掀蓋式腔體開合，便利操作及腔體清潔，生產效率高，更加適用于批量化工業產品的制備；該類型設備性能穩定可靠，具有高度的穩定性和重復性，專為高品質金剛石產品制備而設計。

產品特性

1.一體式不銹鋼腔體，等離子體上方無任何環形縫隙。

2.**微波輸入功率6kw，微波反射功率＜20w。

3.獨特的腔體真空密封，設備極限真空＜0.5pa，腔體壓升率＜3pa/h（保壓前2小時）。

4.有效沉積直徑范圍60-75mm。

5.采用獨特的沉積臺溫控結構，產品制備周期內無需調節腔壓、微波輸入功率，即可實現金剛石控溫，有效的保證了產品在不同生產周期內的質量一致性。

6.高度自動化，一鍵啟動完成全周期生產。