
參考價格
100-150萬元型號
CM-005品牌
超邁光電產地
四川成都樣本
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●本設備在成都光學鍍膜機產業鏈發達基礎上,在核心部件、控制系統和結構設計上吸收國際一流產品技術精髓,開發出surpass系列產品。本設備適用于高精密光通訊產品鍍制光學膜: 電學膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各種濾光片、玻璃片及塑膠(樹脂)件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜,能夠根據客戶需求定制。
●形式:φ650-3500mm,箱式一體機,立式前開門,蒸發室和抽氣室為整體焊接式,一體機系統。
●真空系統:極限真空8X10-5Pa,主泵為復合分子泵低溫泵擴散泵可選。
●真空測量:配三路數字復合真空計,均采用安全防爆金屬測量規。
●工件架系統:客戶需求定制,轉速3~30rpm變頻可調,工件盤為球形和行星工件盤可選。
●烘烤系統:不銹鋼鎧裝加熱器匹配數字功率控制器和PID控制模塊,烘烤溫度300℃,溫控精度1℃,過沖不超過2℃。
●電子束蒸發源:E型電子束蒸發源系統(E型)1-2套,主體有屏蔽罩,配置獨立高壓控制柜。
●旋轉蒸發源:電動轉位和點動轉位,配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。
●電阻蒸發源:2套電阻蒸發源。(選配)
●膜厚測試系統:配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統, RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探頭。
●離子源輔助沉積系統:一套(選配離子源或高壓離子轟擊系統)。
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