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URE-2000S/A 型紫外雙面光刻機
主要技術參數(shù)
。曝光面積:6 英寸
。曝光波長:365nm: 20mW/cm,405nm:20-35mW/cm2
。分辨力:1μm
。對準精度:± 2μm (雙面,片厚 0.8mm),± 0.8μm (單面)
。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸,7 英寸
。樣片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸,6 英寸,厚度 0.1mm—6mm
。曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量
。調平接觸壓力通過傳感器保證重復
。數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口7
。正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過 CCD+顯示器對準,光學合像,光學**倍數(shù) 400 倍,光學+電子放大 800 倍
物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對:10 倍、16 倍、20 倍
。底面面對準:采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。照明不均勻性: 2.5%(Ф100mm 范圍), 3%(Ф150mm 范圍)
。掩模相對于樣片運動行程:
X:± 5mm; Y:± 5mm;Thelta:± 6 度
。**膠厚:500 μm (SU8 膠,用戶提供檢測條件)
。光源平行性:2°
。具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
。汞燈功率:1000W(直流,進口)
外形尺寸:1400mm(長)x1200mm(寬) x2000mm(高)
設備構成與配置明細
設備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)(曝光頭)、對準工件臺系統(tǒng)、雙目雙視場顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對準系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助配套設備構成。
(1)曝光頭系統(tǒng)包括:
。冷光橢球鏡
。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調節(jié)臺
。冷卻風扇.
。光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(109 余個透鏡)、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
(2)對準工件臺系統(tǒng)包括:
。掩模樣片相對運動臺(XY)
。轉動臺(θ)
。樣片自動調平機構
。樣片調焦機構
。承片臺 4 個 (2 英寸、3 英寸、4 英寸,6 英寸)8
。掩模架 4 個 (3 英寸、4 英寸、5 英寸,7 英寸)
。掩模翻轉及旋轉機構
(3)對準顯微鏡(可選擇帶 CCD 型,目鏡和監(jiān)視器可同時觀測)系統(tǒng)包括:
。LED 照明及配套電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)
。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)
。CCD 及光學成像系統(tǒng)
。XYZ 底面對準工件臺(兩套)
(4)底面 CCD 對準系統(tǒng)
。LED 照明及配套電源
。CCD 及光學成像系統(tǒng)(2 套)
。數(shù)據(jù)采集卡
(5)電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
。控制柜桌
。計算機系統(tǒng)(22 英寸寬屏液晶顯示器)
(6)氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅動
。氣動儀表
(7)其他附件(選配)
。真空泵一臺(無油靜音型)
。空壓機一臺(無油靜音型)
。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)
。管道
暫無數(shù)據(jù)!
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