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*分辨率:
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Park NX20 300mm是業界**大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計,可有效地檢測整個300mm晶圓,且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺,但Park的創新性振動隔離技術仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平。
經檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調整的需求,并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面,用戶可以在整個300mmx300mm區域輕松實現可靠與可重復的順序多站點測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的**。
NX20 300 mm進行了全新設計,可達到大樣品的**測量。整個300mm晶圓區域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍,讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。




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 Park NX20 300mm的工作原理介紹?
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